高純硅和電子硅的產(chǎn)生

在國(guó)外，高純硅和電子硅是由工業(yè)硅經(jīng)氣轉(zhuǎn)液沉積法、硅烷空心硅管沉積法，定向結(jié)晶或加熱工業(yè)硅1 400度氯化成三氯氫硅，通過(guò)物理和化學(xué)還原方法才能得到產(chǎn)品。生產(chǎn)過(guò)程中需要消耗大量的電力及純凈水，傳統(tǒng)生產(chǎn)工藝平均每噸高純硅的電耗在58 000 kWh，每噸多晶硅的電耗在337 500 kWh，另外由于加入的含氯化學(xué)合成劑以及對(duì)三氯氫硅的回收過(guò)程中會(huì)對(duì)環(huán)境造成一定的污染。本項(xiàng)目中所涉及的提純技術(shù)對(duì)電力消耗只是傳統(tǒng)提純方法的十分之一，由于添加的催化劑無(wú)毒、無(wú)腐蝕作用，并可以回收反復(fù)利用，對(duì)環(huán)境不造成任何影響。通過(guò)使用高純硅粉生產(chǎn)多晶硅，可降低多晶硅生產(chǎn)中四分之一電耗，節(jié)能效果明顯。